双工位高频除气台
产品型号:GPC-2000 更新日期:2014-3-16 10:51:19 浏览数:17360
GPC-2000型双工位高频真空除气台主要结构和主要特点:
1.采用上海新兴机械厂生产的GP30(15)-CW7型高频加热设备,其总功率达到30(15)KW提供了足够的加热功率,并此设备性能稳定、故障率很低。
2.真空系统全部采用不锈钢制造,漏率≤3×10-7Pa.L/S。
3.钟罩采用气炼石英玻璃制造,耐高温、透明。
4.真空获得设备采用两台低返油金属扩散泵、三台直联式机械真空泵组成,真空度可达5×10-3Pa。
5.采用双向任意位置悬停气动升降系统,安全可靠。
6.电气控制采用高可靠的电器元件。
7.采用两台冷阴规真空计,可靠检测真空度。
8.阀门采用电气动高真空挡板阀,保证可靠打开和关闭。
9.其它真空材料均采用ISO标准接口的真空器材。
10.采用高温钼板制造的高温坩锅,耐高温、寿命长、无污染。配套两种规格的钼坩锅共计四只。
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