型号：JG-Ⅰ高真空排气台 主要配置： ――450L/S分子泵及4L/S机械泵 ――高真空阀门 充气微调阀 ―― ZDF-3高真空计 ――压力变送器 ――300℃烘烤加热炉 ――气源及管路 技术指标： ――极限真空1.33×10-4Pa ――20分钟真空度达到6.7×10-3Pa ――60工位排气 ――充气压力精确,最高压力5M Pa