近紫外汞氙灯是一种体积小、亮度高的球形点光源，在近紫外和可见光有较强辐射。 近紫外汞氙灯是集成电路光刻用紫外光源，在医学、生物学、荧光显微技术等领域广泛用途。 远紫外汞氙灯是一种发光稳定，在200-300nm范围内具有较强紫外辐射的球形汞氙灯。